關于鵬城半導體 ? 鵬城半導體技術(深圳)有限公司,由哈爾濱工業大學(深圳)與有多年實踐經驗的工程師團隊共同發起創建。公司立足于技術qian*yan與市場qian*yan的交叉點,尋求chuang*xin*yin*ling與可持續發展,解決產業的痛點和國產化難題,爭取產業鏈的自主可控。 ? 公司he*xin業務是微納技術與gao duan精密制造,具體應用領域包括半導體材料、半導體工藝和半導體裝備的研發設計和生產制造。 ? 公司人才團隊知識結構完整,有以哈工大教授和博士為he*xin的高水平材料研究和工藝研究團隊;還有來自工業界的gao*ji裝備設計師團隊,他們具有20多年的半導體材料研究、外延技術研究和半導體薄膜制備成套裝備設計、生產制造的經驗。 ? 公司依托于哈爾濱工業大學(深圳),具備xian*jin的半導體研發設備平臺和檢測設備平臺,可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市,具備半導體裝備的研發、生產、調試以及半導體材料與器件的中試、生產、銷售的能力。 公司已投放市場的部分半導體設備 |物li*qi相沉積(PVD)系列 磁控濺射鍍膜機、電子束鍍膜機、熱蒸發鍍膜機,激光沉積設備PLD、離子束濺射鍍膜機、磁控與離子束復合鍍膜機 |化學氣相沉積(CVD)系列 MOCVD、PECVD、LPCVD、微波等離子體CVD、熱絲CVD、原子層沉積設備ALD |**高真空系列 分子束外延系統(MBE)、激光分子束外延系統(LMBE) |成套設備 團簇式太陽能薄膜電池中試線、OLED中試設備(G1、G2.5) |其他 金剛石薄膜制備設備、合金退火爐、硬質涂層設備、磁性薄膜設備、電極制備設備 |真空鍍膜機zhuan*yong電源/真空鍍膜機控制系統及軟件 直流濺射電源、RF射頻濺射電源、gao*jing*du熱蒸發電源、高能直流脈沖電源(中頻可調脈寬) 控制系統及軟件 團隊部分業績分布 ? 完全自主設計制造的分子束外延(MBE)設備,包括自主設計制造的MBE*chao高真空外延生長室、工藝控制系統與軟件、高溫束源爐、高溫樣品臺、Rheed原位實時在線監控儀(反射高能電子衍射儀)、直線型電子qiang、膜厚儀(可計量外延生長的分子層數)、射頻源等關鍵部件。真空度達到2×10-8Pa。 ? 設備于2005年在浙江大學光學儀器guo*jia*zhong*dian實驗室投入使用,至今仍在正常使用。 ? 設計制造磁控濺射與等離子體增強化學氣相沉積法PECVD技術聯合系統,應用于團簇式太陽能薄膜電池中試線。使用單位中科院電工所。 ? 設計制造了金剛石薄膜制備設備,應用于金剛石薄膜材料的研究與中試生產設備。現使用單位中科院金屬研究所。 ? 設計制造了全自動磁控濺射設備,可加水平磁場和垂直磁場,自行設計的真空機械手傳遞基片。應用于高密度磁記錄材料與器件的研究和中試。現使用單位guo*jia光電實驗室。 ? 設計制造了OLED*you*ji半導體發光材料及器件的研究和中試成套裝備。現使用單位中國香港城市大學xian*jin材料實驗室。 ? 設計制造了MOCVD及合金退火爐,用于GaN和ZnO的外延生長,實現LED無機半導體發光材料與器件的研究和中試。現使用單位南昌大學guo*jia硅基LED工程技術研究中心。 ? 設計制造了磁控濺射研究型設備。現使用單位浙江大學半導體所。 ? 設計制造了電子束蒸發儀研究型設備。現使用單位武漢理工大學。 團隊在di三代半導體裝備及工藝方面的技術積累 2001年?與南昌大學合作 設計了中試型的全自動化監控的MOCVD,用于外延GaN和ZnO。 2005年?與浙江大學光學儀器guo*jia*zhong*dian實驗室合作 設計制造了di*yi臺完全自主zhi*shi*chan*quan的分子束外延設備,用于外延光電半導體材料。 2006年? 與中國科技大學合作 設計**高溫CVD 和MBE。 用于4H晶型SiC外延生長。 2007年?與蘭州大學物理學院合作 設計制造了光學級金剛石生長設備(采用熱激發技術和CVD技術)。 2015年? 中科院金屬研究所沈陽材料科學guo*jia(聯合)實驗室合作 設計制造了金剛石薄膜制備,制備了金剛石電極、微米晶和納米晶金剛石薄膜、導電金剛石薄膜。 2017年 -優化Rheed設計,開始生產型MBE設計。 -開始研制PVD方法外延GaN的工藝和裝備,目前正在進行設備工藝驗證。 2019年?設計制造了大型熱絲CVD金剛石薄膜的生產設備。 2021年?MBE生產型設計。 2022年?大尺寸金剛石晶圓片制備(≥Φ6英寸)。 2023年?PVD方法外延氮化鎵裝備與工藝攻關。