單晶硅片來自于單晶硅硅棒切割,硅棒采取類似藍寶石等單晶材料的生長方式,因此,其原子排列短程有序、長程也有序,單晶硅片回收價格對比,得到的半導體雜質、缺陷相對較少,但相應的成本也較高。
單晶硅片是單晶硅棒經由一系列工藝切割而成的,制備單晶硅的方法有直拉法(CZ 法)、區熔法(FZ 法)和外延法,其中直拉法和區熔法用于制備單晶硅棒材。區熔硅單晶的需求來自于功率半導體器件;單晶硅片來自于單晶硅硅棒切割,硅棒采取類似藍寶石等單晶材料的生長方式,因此,其原子排列短程有序、長程也有序,單晶硅片回收價格對比,得到的半導體雜質、缺陷相對較少,但相應的成本也較高。
單晶硅片的制法通常是先制得多晶硅或無定形硅,然后用直拉法或懸浮區熔法從熔體中生長出棒狀單晶硅。單晶硅棒是生產單晶硅片的原材料,隨著國內和**市場對單晶硅片需求量的快速增加,單晶硅棒的市場需求也呈快速增長的趨勢;回收單晶硅指的是回收電池片、藍膜片單晶硅和多晶硅等硅產品,這些產品在如今的電器中也是廣泛用到的;而它們雖然都是廢舊的硅材料,但是從某種程度上來說,它們都是成品,回收利用這些硅料,可以省去大量的加工過程。
單晶硅片在日常生活中是電子計算機、自動控制系統等現代科學技術中不可缺少的基本材料;電視、電腦、冰箱、電話、手表、汽車,處處都離不開單晶硅材料,單晶硅片作為科技應用普及材料之一,已經滲透到人們生活中的各個角落。
單晶硅片的生產工藝流程:
1、單晶硅是從大自然豐富的硅原料中提純制造出多晶硅,再通過區熔或直拉法生產出區熔單晶或直拉單晶硅,進一步形成硅片、拋光片、外延片等,直拉法生長出的單晶硅,用在生產低功率的集成電路元件。而區熔法生長出的單晶硅則主要用在高功率的電子元件;
2、直拉法加工工藝:加料→熔化→縮頸生長→放肩生長→等徑生長→尾部生長,長完的晶棒被升至上爐室冷卻一段時間后取出,即完成一次生長周期。懸浮區熔法加工工藝:先從上、下兩軸用夾具準確地垂直固定棒狀多晶錠。用電子轟擊、高頻感應或光學聚焦法將一段區域熔化,使液體靠表面張力支持而不墜落。移動樣品或加熱器使熔區移動。這種方法不用坩堝,能避免坩堝污染,因而可以制備很純的單晶,也可采用此法進行區熔。
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